[发明专利]表面构造测量装置、表面构造测量方法和表面构造测量程序有效
| 申请号: | 200810168618.3 | 申请日: | 2008-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN101413795A | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
| 发明(设计)人: | 日高宏幸;小岛司 | 申请(专利权)人: | 三丰株式会社 |
| 主分类号: | G01B21/30 | 分类号: | G01B21/30 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 吕晓章 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 表面 构造 测量 装置 测量方法 程序 | ||
1.一种表面构造测量装置,包括:
显示控制单元,用于显示具有绘图标记的输入区域并且包括图形、数字 和字符的绘图标记输入屏,所述绘图标记相应于由用于表面构造测量的标准 所规定的各种参数,以所述标准规定的方式将所述数字和字符被输入到其中 的所述输入区域布置在所述图形中的预定位置;
输入接受单元,用于接受向绘图标记输入屏中所提供的输入区域中输入 的绘图标记;和
运算单元,用于基于在输入接受单元接受的绘图标记,由被测物表面位 移的测量结果,计算表示被测物表面构造的表面构造信息,
其中所述绘图标记包括图形和排列在图形中的标记。
2.根据权利要求1所述的表面构造测量装置,其中,显示控制单元也用 于显示具有相应于绘图标记的设定标记的输入区域的设定标记输入屏,以输 入测量机器中固有的输入所需参数,进一步包括:
转换器,用于将输入到绘图标记输入屏中的输入区域的绘图标记转换为 相应的设定标记;和
显示格式切换器,用于执行屏切换控制,以从绘图标记输入屏切换到设 定标记输入屏。
3.根据权利要求2所述的表面构造测量装置,其中,输入接受单元也用 于接受向设定标记输入屏中所提供的输入区域中输入的设定标记,
其中,运算单元也用于基于相应于在输入接受单元接受的设定标记的绘 图标记,由测量结果,计算表示被测物表面构造的表面构造信息。
4.根据权利要求1所述的表面构造测量装置,进一步包括:
输入条件判定器,用于判定输入值即在输入接受单元接受的绘图标记是 否与一定的输入条件相匹配;和
报告器,用于当输入值判定为与输入条件不匹配时报告结果。
5.根据权利要求1所述的表面构造测量装置,进一步包括向导单元,用 于解释绘图标记的内容。
6.根据权利要求1所述的表面构造测量装置,其中,显示控制单元进一 步用于一起显示表面构造信息和绘图标记。
7.一种用于表面构造测量中的表面构造测量方法,包括:
显示具有绘图标记的输入区域并且包括图形、数字和字符的绘图标记输 入屏,所述绘图标记相应于由用于表面构造测量的标准所规定的各种参数, 以所述标准规定的方式将所述数字和字符被输入到其中的所述输入区域布置 在所述图形中的预定位置;
接受向绘图标记输入屏中所提供的输入区域中输入的绘图标记;和
基于接受的绘图标记,由被测物表面位移的测量结果,计算表示被测物 表面构造的表面构造信息,
其中所述绘图标记包括图形和排列在图形中的标记。
8.根据权利要求7所述的表面构造测量方法,进一步包括:
显示具有相应于绘图标记的设定标记的输入区域的设定标记输入屏;
将输入到绘图标记输入屏中的输入区域的绘图标记转换为相应的设定标 记,以输入测量机器中固有的输入所需参数;和
执行屏切换控制,以从绘图标记输入屏切换到设定标记输入屏。
9.根据权利要求8所述的表面构造测量方法,进一步包括:
接受向设定标记输入屏中所提供的输入区域中输入的设定标记;和
基于相应于接受的设定标记的绘图标记,由测量结果,计算表示被测物 表面构造的表面构造信息。
10.根据权利要求7所述的表面构造测量方法,进一步包括:
判定输入值即接受的绘图标记是否与一定的输入条件相匹配;和
当输入值判定为与输入条件不匹配时报告结果。
11.根据权利要求7所述的表面构造测量方法,进一步包括解释绘图标 记的内容。
12.根据权利要求7所述的表面构造测量方法,进一步包括一起显示表 面构造信息和绘图标记。
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