[发明专利]一种p型ZnO的欧姆接触电极及其制备方法

摘要

本发明公开的p型ZnO的欧姆接触电极，在p型ZnO层上自下而上依次沉积第一电极层和第二电极层，其中第一电极层是金属Ni层，第二电极层是金属Pt层。其制备方法包括在p型ZnO层表面光刻出电极图案，然后采用真空电子束蒸发法在p型ZnO层上依次沉积金属Ni层和金属Pt层，再将制备的电极在氮气中400℃～550℃范围内进行快速热退火。经过快速退火使电极金属表面附近形成一层Pt-Ni合金保护层，从而可避免电极材料受到环境的影响而造成性能衰退，同时可以避免p型ZnO中的受主杂质向外逃逸，保持p型ZnO层中的空穴浓度。本发明的p型ZnO的欧姆接触电极具有低接触电阻率和热稳定性，有利于器件应用。

主权项

1. 一种p型ZnO的欧姆接触电极，在p型ZnO层(1)上自下而上依次沉积第一电极层(2)和第二电极层(3)，其特征在于所说的第一电极层(2)是金属Ni层，第二电极层(3)是金属Pt层。