[发明专利]高抗蚀胶显影液及其制备方法有效
| 申请号： | 200810123283.3 | 申请日： | 2008-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN101308334A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 殷福华 | 申请（专利权）人： | 殷福华 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人： | 何军 |
| 地址： | 214423江苏省江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高抗蚀胶显影液，其特征为它主要由馏程为80℃～120℃的C6～C8混合烷烃和馏程为150℃～210℃的含庚烷的C7～C10混合烷烃组成；高抗蚀胶显影液中C6～C8混合烷烃的含量为30～60重量％，含庚烷的C7～C10混合烷烃的含量为40～70重量％；含庚烷的C7～C10混合烷烃中庚烷的含量为20～80重量％。本发明还涉及该高抗蚀胶显影液的生产方法。本发明具有不含致癌物质及生产成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 高抗蚀胶 显影液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种高抗蚀胶显影液，其特征为它主要由馏程为80℃～120℃的C6～C8 混合烷烃和馏程为150℃～210℃的含庚烷的C7～C10混合烷烃组成；高抗蚀胶显影液中C6～C8混合烷烃的含量为30～60重量％，含庚烷的C7～C10混合烷烃的含量为40～70重量％；含庚烷的C7～C10混合烷烃中庚烷的含量为20～80重量％。
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