[发明专利]一种阵列微梁单元偏角测量系统

摘要

一种阵列微梁单元偏角测量系统，包括照明光源、聚光镜、滤波针孔、准直系统、起偏器、偏振分光镜、1/4波片，傅立叶变换系统，滤波刀口，傅立叶逆变换系统和CCD相机；照明光源发出的光经聚光镜和滤波针孔组成的光束滤波器后经准直系统变为平行光，再经起偏器变为线偏振光束，线偏振光束经偏振分光镜反射后照明阵列微梁，被阵列微梁反射后再次到达偏振分光镜，线偏振照明光束两次经过偏振分光镜与阵列微梁之间的1/4波片，相位改变π/2，被阵列微梁反射的成像光束可透过偏振分光镜，经傅立叶变换系统和滤波刀口、及傅立叶逆变换系统组成的4f滤波系统后成像于CCD相机上；本发明通过对照明光的偏振态控制，降低了测量信号的背景噪声，提高了系统信噪比，显示了特有的优势。

主权项

1、一种阵列微梁单元偏角测量系统，其特征在于：包括照明光源(1)、聚光镜(2)、滤波针孔(3)、准直系统(4)、起偏器(5)、偏振分光镜(6)、1/4波片(7)，傅立叶变换系统(8)，滤波刀口(9)，傅立叶逆变换系统(10)，和CCD相机(11)；照明光源(1)发出的光经过由聚光镜(2)和滤波针孔(3)组成的光束滤波器后经准直系统(4)使光束变为平行光，再经过起偏器(5)后变为线偏振照明光束，线偏振照明光束经偏振分光镜(6)反射后照明阵列微梁(12)，此光被阵列微梁(12)反射后携带有阵列微梁的信息再次到达偏振分光镜(6)，在此过程中由于线偏振照明光束两次经过置于偏振分光镜(6)与阵列微梁(12)之间的1/4波片(7)，相位改变π/2，被阵列微梁(12)反射回来的成像光束可透过偏振分光镜(6)，到达傅立叶变换系统(8)和滤波刀口(9)、及傅立叶逆变换系统(10)组成的4f滤波系统，使不同偏角的微梁反射光在频谱面(13)分离，经过4f滤波系统频谱滤波后将阵列微梁(12)还原成像于所述的CCD相机(11)上。