[发明专利]悬置式感应装置及其制作方法

摘要

本发明公开了一种悬置式感应装置及其制作方法，于一基底上形成离散设置的多个第一电极，并在第一电极上形成一欲牺牲材料，藉由欲牺牲材料提供形成多个支柱及一第二电极的支撑，并于支柱及第二电极形成后将欲牺牲材料蚀刻去除，使得第二电极与第一电极保持一垂直面上的间距，让第二电极相对于各第一电极悬浮地交错设置，当悬置的第二电极产生位移时，第二电极将与第一电极产生面积重叠，以形成可量测的电容值变化，致使悬置式感应装置感知速度的变化以及变化的方向。

主权项

1.一种悬置式感应装置，其特征在于，主要包括有：一基底；多个第一电极，离散设置于该基底的上表面；多个基座，离散设置于该基底的上表面，且不与该第一电极连接；多个支柱，每一支柱的一端连设于该基座的上表面；及一第二电极，连接各支柱的另一端，致使第二电极悬浮于该基底的垂直延伸位置处，以相对该第一电极交错设置，并与第一电极保持一垂直面上的间距。