[发明专利]化学药品供给装置无效
| 申请号： | 200810092455.5 | 申请日： | 2008-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101286446A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 赵康一 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;金玉兰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种化学药品供给装置，包括：用于灌入药液的容器罐；缓冲器，其下部设有用于接收所述容器罐内的药液后向半导体装备输送的排出阀，在上部形成用于向外部排出包含于所述药液里的气泡的气泡排气阀；残量测定装置，以用于测定所述容器罐内药液的残量；及体积可变装置，以用于当利用所述残量测定装置进行的测定结果为容器罐内的药液残量在基准值以下时，使缓冲器内药液的收容空间收缩及膨胀，从而吸入容器罐内的药液。并且，如果测定的容器罐内药液的残量在基准值以下，则从缓冲器侧形成低速真空吸入动作，因此可降低容器罐内的药液的残量而节省材料费用。 | ||
| 搜索关键词： | 化学药品 供给 装置 | ||
【主权项】：
1、一种化学药品供给装置，其特征在于包括：用于灌入药液的容器罐；缓冲器，其下部设有用于接收所述容器罐内的药液后向半导体装备输送的排出阀，在上部形成用于向外部排出包含于所述药液里的气泡的气泡排气阀；残量测定装置，以用于测定所述容器罐内药液的残量；及体积可变装置，以用于当利用所述残量测定装置进行的测定结果为容器罐内的药液残量在基准值以下时，使缓冲器内药液的收容空间收缩及膨胀，从而吸入容器罐内的药液。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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