[发明专利]龙门式光罩清洁装置有效
| 申请号： | 200810090268.3 | 申请日： | 2008-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101281376A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 杨东晃;刘耀隆 | 申请（专利权）人： | 深超光电（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;B08B11/00;B08B5/02 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 | 代理人： | 鲁慧波 |
| 地址： | 518109广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明系揭露一种龙门式光罩清洁装置，其系提供二支撑装置，并将其分开置放，而后将一风刀装置装设于两支撑装置之间，并利用一控制装置控制所有组件作动。当要进行清洁之时，把光罩承载装置移至风刀装置下方，这样一来，就可以利用风刀所吹出来的气体对光罩进行清洁了。本发明不但可以避免人员多次近距离接触，更可以缩短清洁光罩的时间提高生产的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 龙门 式光罩 清洁 装置 | ||
【主权项】：
1.一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于包含：至少二支撑装置，其系设置于一地面上；一风刀装置，其系装设在该支撑装置间；以及一控制装置，其系控制该支撑装置与该风刀装置之整体架构，控制所有组件作动。
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