[发明专利]液体喷射头及其制造方法有效
申请号: | 200810088065.0 | 申请日: | 2008-03-27 |
公开(公告)号: | CN101274517A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 高部本规;角浩二 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/045;B41J2/16;H01L41/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;李伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够切实抑制压电元件的位移量的变化、具有稳定的油墨喷出特性的液体喷射头及其制造方法。该液体喷射头具备:流道形成基板,其形成有与喷射液体的喷嘴开口相连通的压力发生室;压电元件,其由设置于该流道形成基板的一个表面侧的下电极、压电体层及上电极构成,上述压电体层由锆钛酸铅构成,是在(100)面上优先取向的菱形晶系构造或者单斜晶系构造,且饱和极化Pm以及剩余极化Pr满足33%≤2Pr/2Pm≤46%。 | ||
搜索关键词: | 液体 喷射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种液体喷射头,具备:流道形成基板,其形成有与喷射液体的喷嘴开口相连通的压力发生室;压电元件,其由设置于该流道形成基板的一个表面侧的下电极、压电体层及上电极构成,其特征在于,上述压电体层由锆钛酸铅构成,是在(100)面上优先取向的菱形晶系构造或者单斜晶系构造,且饱和极化Pm以及剩余极化Pr满足33%≤2Pr/2Pm≤46%。
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