[发明专利]涂敷装置

摘要

本发明提供一种可以得到膜的厚度精度高而且表面平滑的没有涂敷不均的涂敷膜的涂敷装置。该涂敷装置是具备：用外周面支承向纵向行进的长的带状体(16)的支承辊(20)、和与支承辊(20)隔开一定间隔对向配置并向带状体供给涂敷液的涂敷头(18)的涂敷装置(10)，其中，具备固定有涂敷头(18)与支承辊(20)的支架(30)、和主动式除振装置(32)，主动式除振装置(32)具备支承支架(30)并用于驱动的致动器(33)、检测支架(30)的振动的第一传感器(34)、检测基础振动的第二传感器(35)、检测带状体的振动的第三传感器(36)、和基于各传感器的信息来产生用于消除振动的控制输入的控制机构。

主权项

1.一种涂敷装置，具备：用外周面支承向纵向行进的长的带状体的支承辊、和与所述支承辊隔开一定间隔对向配置并向带状体供给涂敷液的涂敷液供给部，其特征在于，具备：支承所述涂敷液供给部与所述支承辊的支架；和主动式除振装置，该主动式除振装置具备：支承所述支架并用于驱动的致动器；检测所述支架的振动的第一传感器；基于所述第一传感器的输出信号来产生用于消除支架的振动的控制输入的反馈控制机构；检测要设置所述支架的基础的振动的第二传感器；基于所述第二传感器的输出信号来产生用于消除基础振动的控制输入的前馈控制机构；检测向所述支架的弹簧上传导的干扰振动并安装于所述支架以外的部位的第三传感器；和基于所述第三传感器的输出信号来产生用于消除干扰振动的控制输入的前馈控制机构。