[发明专利]涂敷装置

权利要求书

1.一种涂敷装置，具备：用外周面支承向纵向行进的长的带状体的支承辊、和与所述支承辊隔开一定间隔对向配置并向带状体供给涂敷液的涂敷液供给部，其特征在于，

具备：支承所述涂敷液供给部与所述支承辊的支架；和主动式除振装置，

该主动式除振装置具备：支承所述支架并用于驱动的致动器；检测所述支架的振动的第一传感器；基于所述第一传感器的输出信号来产生用于消除支架的振动的控制输入的反馈控制机构；检测要设置所述支架的基础的振动的第二传感器；基于所述第二传感器的输出信号来产生用于消除基础振动的控制输入的前馈控制机构；检测向所述支架的弹簧上传导的干扰振动并安装于所述支架以外的部位的第三传感器；和基于所述第三传感器的输出信号来产生用于消除干扰振动的控制输入的前馈控制机构。

2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，

安装所述第三传感器的部位是配置于所述涂敷液供给部的上游并支承带状体的行进的导辊。

3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其中，

所述第三传感器被设置于导辊的两端。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的涂敷装置，其中，

安装所述第三传感器的部位与所述支承辊的距离在10m以下的范围。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的涂敷装置，其中，

所述第三传感器检测带状体的张力、加速度、速度、位移的变动或导辊支承部的加速度、速度、位移变动、旋转加速度、旋转速度以及转数中的至少一个信息作为带状体的振动信息。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的涂敷装置，其中，

产生用于消除所述干扰振动的控制输入的控制机构是控制带状体的状态变动导致产生的所述支架的振动的带状体振动控制机构。

7.根据权利要求6所述的涂敷装置，其中，

所述带状体振动控制机构驱动所述致动器以消除根据所述带状体的状态变动而在所述支架产生的干扰振动。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的涂敷装置，其中，

所述支架的一次固有振动频率为80Hz以上。

9.根据权利要求1～8中任意一项所述的涂敷装置，其中，

要设置所述涂敷装置的床面的一次固有振动频率为10Hz以上。