[发明专利]光波导器件及其制造方法

摘要

本发明涉及光波导器件及其制造方法。用于校正由于基板应变和扭曲的形变而引起的对准标记的未对准，获得能提高安装精确度和生产率的光波导器件。光波导器件包括：包含在基板上形成的波导芯的光波导部分，以及安装在基板上以对应光波导部分的光学器件(LD)，其中两者都被耦合在光端面并通过混合式安装来安装。在光学器件中的活性线两侧设置LD侧对准标记。当在对应基板上安装该光学器件时，在其中心和光学器件侧标记的那些中心匹配的位置设置基板侧对准标记。设置基准标记，并且与基板上的波导芯的相对位置关系变得稳定。因此检测未对准量。

主权项

1.一种光波导器件，其中通过对准标记对准、并通过混合式安装而将光学器件安装在基板上，在该基板上形成了光波导芯，其中参考所述光波导芯，在绝对位置设置基准标记，该基准标记用于调整所述光学器件的安装位置，以便所述光波导芯和所述光学器件被光学地耦合。