[发明专利]光波导器件及其制造方法

权利要求书

1.一种光波导器件，其中通过对准标记对准、并通过混合式安装而将光学器件安装在基板上，在该基板上形成了光波导芯，其中

参考所述光波导芯，在绝对位置设置基准标记，该基准标记用于调整所述光学器件的安装位置，以便所述光波导芯和所述光学器件被光学地耦合。

2.如权利要求1所述的光波导器件，其中，在形成所述光波导芯的工序中，所述基准标记被形成为与所述光波导芯对准。

3.如权利要求1所述的光波导器件，其中，所述基准标记是用于校正所述光学器件的光轴相对于所述光波导芯光轴的角度未对准的基准。

4.如权利要求1所述的光波导器件，其中，参考所述光波导芯，在绝对位置处形成多个所述基准标记。

5.如权利要求4所述的光波导器件，其中，在以所述光波导芯为中心的对称位置处形成所述多个基准标记。

6.一种用于光波导器件的制造方法，所述光波导器件包括通过对准标记对准、并通过在基板上混合式安装而安装的光学器件，在该基板上形成了光波导芯，其中

参考所述光波导芯，在绝对位置处形成基准标记，该基准标记用于调整所述光学器件的安装位置，以便所述光波导芯和所述光学器件被光学地耦合。

7.如权利要求6所述的用于所述光波导器件的所述制造方法，其中，所述基准标记被形成为与所述光波导芯对准。

8.如权利要求6所述的用于所述光波导器件的所述制造方法，其中，在形成所述光波导芯的工序中，参考所述光波导芯，在绝对位置处形成多个所述基准标记。

9.如权利要求8所述的用于所述光波导器件的所述制造方法，其中，在以所述光波导芯为中心的对称位置处形成所述多个基准标记。