[发明专利]探针卡

摘要

本发明公开了一种探针卡，该探针卡包括：第一基底结构，具有电路图案；第二基底结构，与第一基底结构接触，并具有多个探针。上辅助板和下辅助板分别结合到第一基底结构的上表面和下表面。弹性构件固定到下辅助板并支撑第二基底结构。柔性连接介质电连接到电路图案和探针。边缘螺钉和中央螺钉分别结合到第二基底结构的边缘部分和中央部分。支撑螺钉结合到第二基底结构的螺钉孔，压紧螺钉围绕着螺钉孔压住第二基底结构。因此，可容易地控制第二基底结构的水平面。

主权项

1、一种探针卡，包括：第一基底结构，具有在其中央部分的多个第一通孔和在其上表面上的电路图案；第二基底结构，与第一基底结构的下表面接触，第二基底结构包括分别连接到第一基底结构的第一通孔的多个通孔、位于第二基底结构的上表面的多个螺钉孔和位于第二基底结构的下表面的多个探针；柔性连接介质，通过第一基底结构的第一通孔和第二基底结构的所述通孔电连接到电路图案和探针；多个支撑螺钉，穿透第一基底结构并选择性地结合到第二基底结构的所述螺钉孔，从而控制第二基底结构的水平面；多个压紧螺钉，穿透第一基底结构并选择性地围绕螺钉孔压住第二基底结构，从而控制第二基底结构的水平面。