[发明专利]探针支撑装置无效
| 申请号： | 200810083570.6 | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101533036A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 范宏光;林燊一;杨惠彬 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/04;G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明一种探针支撑装置，用以供多个探针被设置于其上而组成一探针卡总成。探针支撑装置包含刚性承载件及一探针基板。刚性承载件具有多个支撑柱，且支撑柱的末端是位于同一设置平面。支撑柱的末端是连接于探针基板，以消除探针基板的翘曲变形，而使探针基板被平板化，且探针是被设置于被平板化的探针基板，使探针前端共同定义的平面平行于一预设平面。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 支撑 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种探针支撑装置，用以供多个探针被设置于其上，其特征在于包含：一刚性承载件，具有多个支撑柱，且所述支撑柱的末端是位于同一设置平面；及一探针基板，所述支撑柱的末端是连接于该探针基板，以消除该探针基板的翘曲变形，而使该探针基板维持平板化，且所述探针被设置于该被平板化的探针基板，使所述探针的前端共同构成的平面平行于一预设平面。
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