[发明专利]探针支撑装置

权利要求书

1.一种探针支撑装置，用以供多个探针被设置于其上，其特征在于包含：

一刚性承载件，具有多个支撑柱，且所述支撑柱的末端是位于同一设置平面；及

一探针基板，所述支撑柱的末端是连接于该探针基板，以消除该探针基板的翘曲变形，而使该探针基板维持平板化，且所述探针被设置于该被平板化的探针基板，使所述探针的前端共同构成的平面平行于一预设平面。

2.如权利要求1所述的探针支撑装置，其特征在于，所述支撑柱延伸于该刚性承载件。

3.如权利要求1所述的探针支撑装置，其特征在于，该刚性承载件具有一基准平面，所述支撑柱为等长且互相平行地延伸于该基准平面。

4.一种探针卡总成，用以电连接一芯片的至少一信号馈入点及至少一信号馈出点，其特征在于包含：

一刚性基板；

多个支撑柱，分别具有一固定端及一自由端，其中该支撑柱的固定端固定于该刚性基板，且所述支撑柱的自由端是位于同一设置平面；

一探针基板，位于该设置平面上，且所述支撑柱的自由端是连接于该探针基板，消除该探针基板的翘曲变形而使该探针基板被平板化；及

多个探针，设置于该被平板化的探针基板，使所述探针的前端共同定义的平面是平行于一预设平面，用以接触该信号馈入点及该信号馈出点。

5.如权利要求1所述的适配卡总成，其特征在于，包含一电路板，电性连接于所述探针，用以产生测试信号通过该信号馈入点至该芯片，及通过该信号馈出点接收该芯片产生的回馈信号。

6.如权利要求5所述的探针卡总成，其特征在于，该电路板及所述支撑柱是固定于该刚性基板的一侧面，且所述支撑柱穿过该电路板。

7.如权利要求6所述的探针卡总成，其特征在于，该电路板具有多个穿孔，用以供各该支撑柱穿过。

8.如权利要求5所述的探针卡总成，其特征在于，该电路板及所述支撑柱分别固定于该刚性基板的二侧面。

9.如权利要求5所述的探针卡总成，其特征在于，包含多个电连接组件，电性连接该电路板及所述探针。

10.如权利要求5所述的探针卡总成，其特征在于，包含一中间材，电性连接该电路板及所述探针。

11.如权利要求4所述的探针卡总成，其特征在于，各该支撑柱互相平行地延伸于该刚性基板。

12.如权利要求4所述的探针卡总成，其特征在于，各该支撑柱的自由端是共同在同一个加工平面上进行一机械加工程序，使经过该机械加工程序后的所述自由端位于该设置平面。

13.如权利要求4所述的探针卡总成，其特征在于，所述支撑柱是一体成形于该刚性基板。

14.一种探针支撑装置，用以供多个探针被设置于其上，其特征在于包含：

一刚性基板，具有一基准平面；

多个等长且互相平行的支撑柱，分别具有一固定端及一自由端，其中该支撑柱的固定端是固定于该刚性基板的基准平面，使所述支撑柱的自由端是共同位于一设置平面；及

一探针基板，所述支撑柱的自由端是连接于该探针基板，以消除该探针基板的翘曲变形，而使该探针基板被平板化，所述探针被设置于该被平板化的探针基板，使所述探针的前端共同定义的一平面平行于一预设平面。

15.如权利要求14所述的探针支撑装置，其特征在于，包含一电路板，电性连接于所述探针，用以通过所述探针传送及接收信号。

16.如权利要求14所述的探针支撑装置，其特征在于，该刚性基板具有多个固定孔，所述支撑柱是穿过该固定孔，使各该固定端设置于该基准平面。

17.如权利要求16所述的探针支撑装置，其特征在于，各该固定端的外径大于各该固定孔的内径。

18.如权利要求16所述的探针支撑装置，其特征在于，包含一电路板，结合于该结合面，且电性连接于所述探针，用以通过所述探针传送及接收信号。

19.如权利要求18所述的探针支撑装置，其特征在于，该电路板具有多个穿孔，用以供所述支撑柱穿过。