[发明专利]一种自动显影装置及自动显影方法无效
| 申请号： | 200810081145.3 | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101251720A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 施宏伟 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹市科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种自动显影装置，至少包括显影液输入单元、显影单元和滚轮基板传送单元，显影液输入单元具有显影液输入管路和与该显影液输入管路连接的显影液流量测量单元和显影液流量调节单元，显影单元由第一平衡支座和第二平衡支座支承，所述自动显影装置还包括：由第一平衡支座和第二平衡支座构成的窄条状流体输入管路和渐扩状流体喷嘴，该流体输入管路与显影液输入管路连接；与该流体输入管路连接的压缩空气输入管路；与该压缩空气输入管路连接的气体压力测量单元和气体压力调节单元；以及与所述气体压力测量单元、气体压力调节单元、显影液流量测量单元，和显影液流量调节单元连接的计算机控制单元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 显影 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种自动显影装置，至少包括显影液输入管路及显影单元，其特征在于：显影单元具有一第一平衡支座和第二平衡支座以构成窄条状流体输入管路连接显影液输入管路和渐扩状流体喷嘴用于喷发显影液及压缩空气，且所述自动显影装置还包括：显影液流量测量单元连接该显影液输入管路用于测量显影液流量；显影液流量调节单元连接该显影液输入管路用于调节显影液流量；压缩空气输入管路连接至该流体输入管路；气体压力测量单元连接压缩空气输入管路用于测量气体压力；气体压力调节单元连接压缩空气输入管路用于调节气体压力；以及计算机控制单元连接并控制所述气体压力测量单元、气体压力调节单元、显影液流量测量单元和显影液流量调节单元。
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