[发明专利]一种自动显影装置及自动显影方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种显影装置及显影方法，特别涉及一种自动显影装置及自动显影方法。

背景技术

液晶显示器和半导体装置制造的光刻法是：在被处理基片(玻璃基片、半导体基片)上涂敷光致抗蚀剂(抗蚀剂涂敷工序)，在抗蚀剂上加工出掩模图案(曝光工序)后，有选择地使抗蚀剂的感光部或非感光部在显影液中溶解(显影工序)，在基片表面形成抗蚀剂图案。

参见图1A，现有的显影装置为双显影喷嘴设计，包括前显影喷嘴13’和后显影喷嘴14’，这两个喷嘴将来自管路16的显影液洒至传送滚轮12上的基板11上。参见图1B，现有显影装置喷嘴由左平衡支座23’和右平衡支座24’支承，喷嘴内部使用挡流片22’，该挡流片22’用于避免将来自显影液输入管路25’的显影液直接大量流至玻璃基板上，造成基板某些区域可能显影不均，但由于显影液粘度系数很高，因此可能会由于挡流片22的阻挡，而在显影装置内部形成气泡，造成基板上产生显影气泡缺陷，使基板部分区域的抗蚀剂无法溶解。

中国专利申请号为CN200510082200.7公开了一种光致抗蚀剂的显影方法及显影装置，其利用显影液与气体混合生成雾状显影液，但该装置仍然易于在基板上造成显影气泡缺陷。

发明内容

为解决现有技术所存在的缺陷，本发明提供一种自动显影装置及自动显影方法。

本发明解决其技术问题是采用以下技术方案实现的。

一种自动显影装置，至少包括显影液输入单元、显影单元和滚轮基板传送单元，显影液输入单元具有显影液输入管路和与该显影液输入管路连接的显影液流量测量单元和显影液流量调节单元，显影单元由第一平衡支座和第二平衡支座支承，所述自动显影装置还包括：由第一平衡支座和第二平衡支座构成的窄条状流体输入管路和渐扩状流体喷嘴，该流体输入管路与显影液输入管路连接；与该流体输入管路连接的压缩空气输入管路；与该压缩空气输入管路连接的气体压力测量单元和气体压力调节单元；以及与所述气体压力测量单元、气体压力调节单元、显影液流量测量单元，和显影液流量调节单元连接的计算机控制单元。

所述第一平衡支座和第二平衡支座为对称式结构。

本发明同时提供一种自动显影方法，包括如下步骤：

滚轮基板传送单元将基板传感器感测到的信号传送至计算机控制单元；

计算机控制单元输出预设值至显影液流量调节单元和气体压力调节单元，以控制输入管路的显影液的流量和压缩空气的气体压力；

显影液流量测量单元和气体压力测量单元分别测量所输入显影液的流量和空气压力，并将测得的值传送至计算机控制单元；

计算机控制单元记录并刷新上述数据，并计算出一定时间内的压力差值和流量差值，计算机控制单元将该压力差值和流量差值传送至显影液流量调节单元和气体压力调节单元；

显影液流量调节单元和气体压力调节单元根据计算机控制单元所传来的数据，增加或降低显影液的流量和压缩空气的气体压力。

所述预设值有若干个；所述基板传感器感测到的信号不同时，计算机控制单元输出至显影液流量调节单元和气体压力调节单元的预设值也不同。

本发明通过采用具有窄条形状流体输入管路和渐扩式形状流体喷嘴的流体喷嘴，为基板提供均匀的超微雾状液滴；采用计算机控制及反馈回路连接方式，不仅可以提高测量的精度，而且也能防止外界干扰给流量和压力所带来的变化。

附图说明

图1A、图1B显示现有的显影装置的结构示意图。

图2显示利用根据本发明较佳实施例的显影装置的结构示意图。

图3显示根据本发明较佳实施例的显影装置输出显影液的过程；

图4显示利用根据本发明较佳实施例的显影装置的显影系统的信号流向示意图。

具体实施方式

为让关于本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举一较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明。

图中，11.显影液输入管路，12.显影液流量测量单元，13.显影液流量调节单元，14.压缩空气输入管路，15.气体压力测量单元，16.气体压力调节单元，17.计算机控制单元，200.显影单元21.流体输入管路，22.流体喷嘴，25.第一平衡支座，25.第一平衡支座，300.基板传送单元

较佳实施例