[发明专利]一种自动显影装置及自动显影方法无效
申请号: | 200810081145.3 | 申请日: | 2008-03-12 |
公开(公告)号: | CN101251720A | 公开(公告)日: | 2008-08-27 |
发明(设计)人: | 施宏伟 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 中国台湾新竹市科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 显影 装置 方法 | ||
1.一种自动显影装置,至少包括显影液输入管路及显影单元,其特征在于:显影单元具有一第一平衡支座和第二平衡支座以构成窄条状流体输入管路连接显影液输入管路和渐扩状流体喷嘴用于喷发显影液及压缩空气,且所述自动显影装置还包括:
显影液流量测量单元连接该显影液输入管路用于测量显影液流量;
显影液流量调节单元连接该显影液输入管路用于调节显影液流量;
压缩空气输入管路连接至该流体输入管路;
气体压力测量单元连接压缩空气输入管路用于测量气体压力;
气体压力调节单元连接压缩空气输入管路用于调节气体压力;以及
计算机控制单元连接并控制所述气体压力测量单元、气体压力调节单元、显影液流量测量单元和显影液流量调节单元。
2.根据权利要求1所述的自动显影方法,其特征在于:所述第一平衡支座和第二平衡支座为对称式结构。
3.一种自动显影方法,其特征在于:包括如下步骤:
滚轮基板传送单元将基板传感器感测到的信号传送至计算机控制单元;
计算机控制单元输出预设值至显影液流量调节单元和气体压力调节单元,以控制输入管路的显影液的流量和压缩空气的气体压力;
显影液流量测量单元和气体压力测量单元分别测量所输入显影液的流量和空气压力,并将测得的值传送至计算机控制单元;
计算机控制单元记录并刷新上述数据,并计算出一定时间内的压力差值和流量差值,计算机控制单元将该压力差值和流量差值传送至显影液流量调节单元和气体压力调节单元;
显影液流量调节单元和气体压力调节单元根据计算机控制单元所传来的数据,增加或降低显影液的流量和压缩空气的气体压力。
4.根据权利要求2所述的自动显影方法,其特征在于:所述预设值有若干个。
5.根据权利要求3所述的自动显影方法,其特征在于:所述基板传感器感测到的信号不同时,计算机控制单元输出至显影液流量调节单元和气体压力调节单元的预设值也不同。
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