[发明专利]表面抗菌、耐磨的金属/陶瓷纳米多层膜的制备方法有效
| 申请号： | 200810063860.4 | 申请日： | 2008-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN101220454A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 田修波;韦春贝;杨士勤 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 韩末洙 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种表面抗菌、耐磨的金属/陶瓷纳米多层膜的制备方法，它涉及一种纳米多层膜的制备方法。本发明解决了制备整体抗菌材料成本高、难度高，而表面处理的抗菌材料耐磨性差的问题。本方法如下：采用磁控溅射法，本底真空度为10－4～10－2Pa；在氩气与氮气、乙炔或甲烷三种气体中的一种的气体流量比为2～17∶1，总气压为0.1～1.0Pa，磁控溅射电流为0.2～50A，电压为300～600V，基体偏压为－50～－400V，沉积温度为80℃～400℃的条件下，对对靶进行溅射。本发明制备的纳米陶瓷/金属多层膜的耐磨性能好，抗菌率在95％以上。本发明没有污染，成本低，易于实现，具有良好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 抗菌 耐磨 金属 陶瓷 纳米 多层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面抗菌、耐磨的金属/陶瓷纳米多层膜的制备方法，其特征在于表面抗菌、耐磨的金属/陶瓷纳米多层膜的制备方法步骤如下： 一、用磁控溅射法，将基体放入真空室靶台上，在本底真空度为10-4～10-2Pa的条件下，通入氩气用氩离子对基体溅射清洗15～30min；二、在氩气与氮气、乙炔或甲烷三种气体中的一种的气体流量比为2～17∶1，总气压为0.1～1.0Pa，磁控溅射电流为0.2～50A，溅射电压为300～600V，基体偏压为-50～-400V，沉积温度为80℃～400℃的条件下，对由金属靶1和金属靶2组成的对靶进行溅射，使金属层和陶瓷层交替沉积，每层膜厚度周期为2nm～500nm，最后膜层最外层为陶瓷层，膜层总厚度为0.1μm～10μm，金属银、铜、锌中的一种或几种在陶瓷膜层中的含量为2～50at.％。
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