[发明专利]解耦微机械陀螺无效
| 申请号： | 200810057741.8 | 申请日： | 2008-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN101509771A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 张燕燕;侯朝焕;王东辉;张铁军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 勇 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种解耦微机械陀螺，包括：玻璃衬底(1)；金属电极(8)，其覆盖在玻璃衬底(1)表面；可移动的中央质量块(2)，其通过内侧检测支撑梁(13)与驱动梳齿结构(3)相连接，并通过内侧驱动支撑梁(14)与检测梳齿结构(4)相连接，其特征在于，所述中央质量块(2)和金属电极(8)呈栅状，从而在检测梳齿结构的电容发生变化时，所述中央质量块(2)和金属电极(8)之间的电容也发生变化。从而使陀螺工作时能够检测到的电容变化量增加，提高陀螺的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 陀螺 | ||
【主权项】：
1. 一种解耦微机械陀螺，包括：玻璃衬底(1)；金属电极(8)，其覆盖在所述玻璃衬底(1)表面；可移动的中央质量块(2)，其通过内侧检测支撑梁(13)与驱动梳齿结构(3)相连接，并通过内侧驱动支撑梁(14)与检测梳齿结构(4)相连接，其特征在于，所述中央质量块(2)和金属电极(8)呈栅状，并且在检测梳齿结构(4)的电容发生变化时，所述中央质量块(2)和金属电极(8)之间的电容也发生变化。
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