[发明专利]一种制备金属硒化物薄膜的方法无效
| 申请号： | 200810046658.0 | 申请日： | 2008-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN101214933A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 胡云香;周东祥;龚树萍;李鹏冲;郑志平;刘欢 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C01B19/04 | 分类号： | C01B19/04 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备金属硒化物薄膜的方法，步骤为：先将摩尔比为(0.5～2)∶1的乙酰丙酮金属盐和硒化三辛基膦共同溶解于乙酰丙酮等溶剂，配成乙酰丙酮金属盐浓度为12.5～50m mol/L的前驱体溶液；在保护气氛下，对上述配制好的前驱体溶液进行雾化处理，将得到的气溶胶加热至300～550℃，使前驱体发生反应，生成金属硒化物，并使金属硒化物沉积到衬底上，待衬底上所形成薄膜达到所需的厚度时冷却。本发明方法可以方便灵活的改变原料之间的配比，以得到需要的产物，且原料更为廉价。这种制备方法使用的设备简单，适用于多种金属硒化物薄膜的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 金属 硒化物 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备金属硒化物薄膜的方法，其步骤包括：(1)先将摩尔比为(0.5～2)∶1的乙酰丙酮金属盐和硒化三辛基膦共同溶解于溶剂，配成乙酰丙酮金属盐浓度为12.5～50m mol/L的前驱体溶液，其中，溶剂为乙酰丙酮、二氯甲烷、甲苯、丙酮或异丙醇；(2)在保护气氛下，对上述配制好的前驱体溶液进行雾化处理，将得到的气溶胶加热至300～550℃，使前驱体发生反应，生成金属硒化物，并使金属硒化物沉积到衬底上，待衬底上所形成金属硒化物薄膜达到所需的厚度时冷却。
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