[发明专利]一种气敏传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种气敏传感器及其结构，包括基板、第一电极、介质层、敏感薄膜层、第二电极和第三电极，根据器件结构中各薄膜层和电极位置的不同，器件可以分为顶部接触式和底部接触式两种。本发明采用的新型结构提高了气敏传感器的集成度，机构简单、操作方便、造价低、检测迅速、灵敏度高，在临床医学、发酵、食品、化工、装备和环保等方面显示了广泛的应用前景。

主权项

1.一种气敏传感器，包括基板、第一电极、介质层、敏感材料层、第二电极和第三电极，其特征在于，所述敏感材料层材料是以下材料中的一种或者几种：聚硅氧烷类敏感材料、聚硅碳烷类敏感材料、有机膦毒剂敏感材料、半导体陶瓷材料、聚(氧{甲基(4-羟基-4，4-双(三氟代甲基)丁-1-烯-1-醇)亚甲基硅氧烷})、以六氟异丙醇为敏感基团和聚硅氧烷为骨架的材料、共聚碳硅氧烷、在寡聚二甲基硅氧烷链中引入氟代双酚基团形成的有机/无机混合型共聚物、聚吡咯、聚噻吩、聚苯胺和聚苯胺/纳米氧化物复合材料。