[发明专利]一种制备掺铌钛酸锶薄膜的方法

摘要

一种制备掺铌钛酸锶薄膜的方法，其步骤为：a.铌－柠檬酸乙二醇溶液制备：将氧化铌置于氢氟酸中，于70℃～85℃下形成氧化铌溶液，滴加氨水并陈化4～6小时；过滤后取沉淀物用稀氨水洗涤，干燥后在60～80℃下溶解于柠檬酸的乙二醇溶液中。b.前驱液的制备：按摩尔比Sr²⁺∶Ti⁴⁺∶Nb⁵⁺＝1∶1－x∶x，x＝0.1～0.005，量取乙酸锶、钛酸丁酯以及a步中的铌－柠檬酸乙二醇溶液；乙酸锶溶于乙酸中得溶液A；向钛酸丁酯中先滴加乙酰丙酮，再加入乙二醇甲醚溶剂得溶液B；溶液A、B混合后向其中加入铌－柠檬酸乙二醇溶液再加入1～4∶1的乙二醇和丙三醇，使溶液浓度至Sr²⁺离子0.15～0.40摩尔/升；c.热分解与烧结。该方法所用原料价格低廉，制作工艺简单，制作成本低，利于商业应用。

主权项

1、一种制备掺铌钛酸锶薄膜的方法，其具体步骤为：a、铌-柠檬酸乙二醇溶液制备：将氧化铌置于氢氟酸中，于70℃～85℃下搅拌使其充分溶解形成氧化铌溶液，向溶液中滴加氨水形成白色氢氧化铌沉淀物，陈化4～6小时；过滤后，取沉淀物用2～5％的稀氨水洗涤，于真空中脱水干燥；将干燥后的沉淀物于60～80℃下溶解于柠檬酸的乙二醇溶液中并充分搅拌，得铌-柠檬酸乙二醇溶液；b、掺铌钛酸锶前驱液的制备：按摩尔比Sr2+∶Ti4+∶Nb5+＝1∶1-x∶x，x＝0.1～0.005，分别量取乙酸锶、钛酸丁酯以及a步中制备的铌-柠檬酸乙二醇溶液；将乙酸锶溶于乙酸中形成溶液A；向钛酸丁酯中先滴加Ti4+离子摩尔量0.8倍以上的乙酰丙酮，然后再加入乙二醇甲醚溶剂形成溶液B；溶液A、B混合后，搅拌均匀，再向其中加入铌-柠檬酸乙二醇溶液并搅拌均匀形成混合溶液；向混合溶液中加入乙二醇和丙三醇，乙二醇和丙三醇的比例为1～4∶1，加入的总量为使溶液浓度至Sr2+离子0.15～0.40摩尔/升的量，并搅拌均匀，形成掺铌钛酸锶前驱液；c、热分解与烧结：将b步的掺铌钛酸锶前驱液涂覆在基片上，经热分解处理后，再进行烧结成相处理，即可。