[发明专利]三氯氢硅的生产方法及其设备

摘要

本发明涉及一种生产氯硅烷的方法，特别是涉及一种生产三氯氢硅的方法及其设备，属化工领域。包括氯化氢处理、硅粉烘干和推料、合成反应、除尘冷凝、精馏分离、尾气回收六个步骤，涉及专用设备大型流化床反应器。本发明减少了氯化氢气体对系统设备的腐蚀，反应器流化质量高。尾气中带昂氯硅烷容易被冷凝且大大减少了低温冷媒的消耗。合成尾气充分回收，反应器扩大段不会发生飞温现象，反应热由导热油移出送余热锅炉副产蒸汽后并入蒸汽管网或直接用于部分用热设备，整个工艺系统是一个自身物料循环、能量回收利用的闭路系统。本发明工艺先进、可靠、反应温度调节准确，流化床反应器使用寿命长、生产成本低适于推广应用。

主权项

1、一种三氯氢硅的生产方法，其特征在于：包括如下步骤：A、氯化氢处理：氯化氢气体处理采用循环吸收剂吸收氯化氢气体中的水分，再通过氯化氢压缩机加压至0.1～0.6Mpa(G)，然后送去三氯氢硅大型流化床反应器；B、硅粉烘干和推料：对于在烘粉炉经热氮气烘干后的硅粉，用加热至150～200℃的氮气输送到三氯氢硅大型流化床反应器底部；C、合成反应：在流化床反应器内，硅粉和氯化氢进行气固相反应，生成三氯氢硅和四氯化硅混合物，反应热由导热油移出送余热锅炉副产蒸汽后并入蒸汽管网或直接用于部分用热设备。D、除尘、冷凝：反应器经旋风分离器和硅尘过滤器除尘，将其中残存的硅尘回收，再送入合成气加压冷凝系统，冷凝下来的氯硅烷混合物送至单体径流装置进行分离；E、精馏分离：将经上述处理后冷凝下来的氯硅烷混合物输入精馏装置，在0.1～0.6Mpa(G)压力下精馏分离，得到纯度≥99.0％的三氯氢硅和纯度≥98.0％的四氯化硅；F、尾气回收：未被冷凝的合成尾气送合成尾气回收系统回收利用。