[发明专利]一种可擦写可读出的薄膜型电阻开关器件及其制备方法

摘要

本发明属于微电子器件和功能薄膜技术领域，具体涉及一种可擦写、可读出的薄膜型电阻开关器件及其制作方法。该器件的结构为：金属－功能介质层－金属(M₁－Functional layer－M₂)结构，二端的金属层做电极。其中的功能介质层采用溶液吸附方法沉积硫氰膜，再通过自然固化方法形成的聚硫氰薄膜。这种夹层结构的薄膜器件具有稳定的可逆电阻开关特性，二种状态的阻值比为10³～10⁶，可作为开关器件和存储器件使用，器件的制作工艺非常简单。

主权项

1、一种可擦写可读出的薄膜型电阻开关器件，其特征在于该器件结构组成依次为：金属底电极、功能介质层、金属顶电极，这里，金属底电极为铜膜，厚度为150nm-300nm，金属顶电极为铝膜，厚度为80nm-150nm；功能介质层为由铜底电极在硫氰溶液中吸附硫氰，然后自然固化形成的聚硫氰薄膜。