[发明专利]太阳能电池片涂层工艺用等离子管制造方法

摘要

本发明涉及一种太阳能电池片涂层工艺用等离子管制造方法，等离子管为等离子增强化学气相沉积管，即PECVD管，用于太阳能电池片氮化硅涂层加工工艺，按下列步骤制造：(1)选用高纯石英，通过高温电阻炉拉制出坯管，然后简单脱羟；(2)坯管由摆式定位高速切割机按所需尺寸切割；(3)将PECVD管经清洗、干燥后用自动烘口机进行烘口处理，使管子端面平整圆滑；(4)加工后的PECVD管待自然冷却后再进行清洗、干燥；(5)然后将清洗完毕后的PECVD管装入真空脱羟炉内，待真空脱羟完成后取出PECVD管，使其自然冷却。本发明取代了现有的石英玻璃管，PECVD管平均寿命为80小时以上，而价格仅为进口管的三分之一。

主权项

1.一种太阳能电池片涂层工艺用等离子管制造方法，其特征在于，等离子管为等离子增强化学气相沉积管，即PECVD管，用于太阳能电池片氮化硅涂层加工工艺，按下列步骤制造：(1)选用高纯水晶原料，经提纯后为高纯石英，通过高温电阻炉拉制出坯管，然后简单脱羟；(2)坯管由摆式定位高速切割机按所需尺寸切割；(3)将PECVD管经清洗、干燥后用自动烘口机进行烘口处理，使管子端面平整圆滑，不缺口；(4)加工后的PECVD管待自然冷却后再进行清洗、干燥；(5)然后将清洗完毕后的PECVD管装入真空脱羟炉内，炉内工作温度1020℃～1070℃，真空度达到10-3MPa，进行真空脱羟基，全程用时15～20小时，真空脱羟基以减少PECVD管内的羟基和氢氧根(OH-)的含量，待真空脱羟完成后取出PECVD管，使其自然冷却。