[发明专利]太阳能电池扩散工艺及其设备有效
| 申请号： | 200810018845.8 | 申请日： | 2008-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN101221999A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 马祥柱;单惠标;仝斌;许结刚 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太阳能电池加工技术领域，特别是一种太阳能电池扩散工艺及其设备。本发明在太阳能电池扩散工艺中通过控制抽气排风压力，使抽气排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力的稳定导致磷在硅片中的注入浓度稳定，使加工后得到的硅片的方块电池保持稳定，在后道烧结中可以匹配出高效的太阳能电池。抽气排风压力通过在机台排风端加装的排风压力控制阀和排风压力控制器来进行控制。抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度稳定后，方块电阻也随之稳定，可以提升最终的太阳能电池效率5％。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 扩散 工艺 及其 设备 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池扩散工艺，其特征是：在太阳能电池扩散工艺中通过控制抽气排风压力，使抽气排风压力这个参数保持稳定，抽气排风压力的稳定导致磷在硅片中的注入浓度稳定，使加工后得到的硅片的方块电池保持稳定，在后道烧结中匹配出高效的太阳能电池。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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