[发明专利]测量电流加载时金属薄膜中应力演变的装置及方法

摘要

本发明公开了一种测量电流加载时金属薄膜中应力演变的装置及其方法，设计试样放置装置，依靠金属薄膜与试样放置装置的线接触，实现电流加载，将金属薄膜试样放置到金属材料的放置台的燕尾型的凹槽内，依靠重力金属薄膜试样与金属放置台线接触，保证金属薄膜和金属放置台电导通，金属薄膜在施加电流的过程由于焦耳热和电致蠕变曲率发生变化，再由多数激光应力测量装置测量电流加载时金属薄膜中应力演变。对薄膜试样不施加外力，实现原位测量电流加载时金属薄膜中的应力演变，以分析金属薄膜在热/力/电多耦合场的蠕变变形行为。本发明方法具有简单、精确等优点。

主权项

1.一种测量电流加载时金属薄膜中应力演变的装置，包括第一金属材料放置台(1)，其特征在于，在第一金属材料放置台(1)左侧开有第一矩形通槽(3)，第一矩形通槽(3)内设置第一陶瓷片(5)，在距离第一金属材料放置台(1)右侧10mm处放置第二金属材料放置台(2)，第二金属材料放置台(2)的右侧开有第二矩形通槽(4)，第二矩形通槽(4)内设置第二陶瓷片(6)，第一陶瓷片(5)和第二陶瓷片(6)塞入真空设备的试样台(7)，在第一金属材料放置台(1)右侧开有第一燕尾形通槽(8)，在第二金属材料放置台(2)的左侧开有第二燕尾形通槽(9)，第一金属材料放置台(1)和第二金属材料放置台(2)之间放置有金属薄膜试样(10)，第一金属材料放置台(1)，金属薄膜试样(10)，第二金属材料放置台(2)置于真空腔(16)中。