[发明专利]非接触长行程多自由度纳米精密工作台无效
| 申请号： | 200810017204.0 | 申请日： | 2008-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN101520606A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 毛军红;谢友柏 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02K33/18;B25H1/00 |
| 代理公司： | 西安慈源有限责任专利事务所 | 代理人： | 潘宪曾 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁驱动器与静压空气止推轴承混合支承长行程纳米精密工作台，通过采用1个气浮块实现静压空气止推轴承；采用4个独立电磁驱动器和4个位移传感器，通过座标变换，对工作台垂直位移和姿态进行解耦的闭环控制；采用在工作台支承面上将4个独立线圈安装到与工作台一体化加工的铁心上，构成4个独立的电磁驱动器，实现了单级长行程多自由度工作台，结构简单紧凑，控制系统无耦合，对测量噪声有抑制作用，不需真空预载，电磁驱动器开环稳定，抑制了静压空气止推轴承振动噪声，精度和控制性能比静压空气止推轴承工作台高，热稳定性和工作稳定性比磁悬浮工作台高。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 行程 自由度 纳米 精密 工作台 | ||
【主权项】：
1、非接触长行程多自由度纳米精密工作台，包括工作台基座(1)和与工作台基座(1)相配合的工作台动件(2)，其特征在于，在工作台动件(2)下表面固定有位移传感器(3)—(6)，在工作台动件(2)下表面还固定有线圈(7)—(10)，工作台动件(2)下表面中心固定有气浮块(11)。
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