[发明专利]非接触长行程多自由度纳米精密工作台无效
| 申请号： | 200810017204.0 | 申请日： | 2008-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN101520606A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 毛军红;谢友柏 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02K33/18;B25H1/00 |
| 代理公司： | 西安慈源有限责任专利事务所 | 代理人： | 潘宪曾 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 接触 行程 自由度 纳米 精密 工作台 | ||
1.非接触长行程多自由度纳米精密工作台，包括工作台基座(1)和与工作台基座(1)相配合的工作台动件(2)，其特征在于，在工作台动件(2)下表面固定有位移传感器(3、4、5、6)，在工作台动件(2)下表面还固定有线圈(7、8、9、10)，工作台动件(2)下表面中心固定有气浮块(11)，所说的位移传感器(3、4、5、6)和线圈(7、8、9、10)交替均匀布置，所说的线圈(7、8、9、10)和加工在工作台动件(2)上的铁心，分别构成4个独立的电磁驱动器，所说的气浮块(11)构成1个静压空气止推轴承。
2.根据权利1所说的纳米精密工作台，其特征在于，所说的位移传感器(3、4、5、6)的端面与工作台动件(2)的下表面在同一平面上，工作台动件(2)上表面是一个完整平面工作台平面。
3.根据权利1所说的纳米精密工作台，其特征在于，所说的工作台基座(1)和工作台动件(2)采用导磁材料。
4.根据权利要求1所说的纳米精密工作台，其特征在于，从工作台动件(2)的下表面加工了4个安装线圈(7、8、9、10)的环形盲孔，中间的圆柱(18、19、20、21)是线圈(7、8、9、10)的铁心，线圈(7、8、9、10)固定完成后，其端面不高出工作台动件(2)的下表面，线圈(7、8、9、10)和工作台动件(2)上的铁心构成4个独立的电磁驱动器，电磁驱动器工作气隙为铁心圆柱顶面到工作台动件(2)底面的距离，取值范围在0.2mm-0.4mm。
5.根据权利要求1所说的纳米精密工作台，其特征在于，工作台动件(2)下表面的中央是一个空腔(22)，在空腔(22)的中心安装了气浮块(11)，固定完成后，其轴承面与工作台动件(2)的下表面在同一平面上，工作台动件(2)的四周加工了排气孔(23、24、25、26)使工作台动件(2)外部和空腔(22)相通。
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