[发明专利]往复直线加旋转运动研磨抛光装置无效
| 申请号： | 200810010706.0 | 申请日： | 2008-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101249632A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张莹 | 申请（专利权）人： | 沈阳材佳机械设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司 | 代理人： | 张志刚 |
| 地址： | 110179辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 往复直线加旋转运动研磨抛光装置，涉及一种材料加工设备，该装置包括研磨抛光盘、回转体、研磨抛光盘驱动电机、载料盘、载料盘支架、主动支架导轮、被动支架导轮、导轮驱动电机、直线导轨座、导轨驱动电机、偏心拨杆和修整环，其中粘有被磨抛材料的载料盘面向放置在研磨抛光盘的盘面上，研磨抛光盘与研磨抛光盘驱动电机相连接，回转体与研磨抛光盘相连接，载料盘外径套有修整环，修整环置于主动支架导轮和被动支架导轮之中，载料盘支架与直线导轨座平行连接，直线导轨座通过驱动电机主轴上的圆盘偏心拨杆与导轨驱动电机相连接。本发明解决了被磨抛材料“心高”片面凹凸大，片子平整度不高、平行度不好的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 往复 直线 旋转 运动 研磨 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.往复直线加旋转运动研磨抛光装置，该装置包括研磨抛光盘、回转体、研磨抛光盘驱动电机、载料盘、载料盘支架、主动支架导轮、被动支架导轮、导轮驱动电机、直线导轨座、导轨驱动电机、偏心拨杆和修整环，其特征在于，其中载料盘(5)放置在研磨抛光盘(3)的盘面上，研磨抛光盘(3)与研磨抛光盘驱动电机(1)相连接，回转体(2)与研磨抛光盘(3)相连接，载料盘(5)外径套有修整环(4)，修整环(4)置于主动支架导轮(8)和被动支架导轮(9)之中，并由载料盘支架(7)上的导轮驱动电机(6)驱动主动支架导轮(8)，载料盘支架(7)与直线导轨座(10)平行连接，直线导轨座(10)通过驱动电机主轴上的圆盘偏心拨杆(12)与导轨驱动电机(11)相连接。
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