[发明专利]往复直线加旋转运动研磨抛光装置无效
| 申请号： | 200810010706.0 | 申请日： | 2008-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101249632A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张莹 | 申请（专利权）人： | 沈阳材佳机械设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司 | 代理人： | 张志刚 |
| 地址： | 110179辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 往复 直线 旋转 运动 研磨 抛光 装置 | ||
1.往复直线加旋转运动研磨抛光装置，该装置包括研磨抛光盘、回转体、研磨抛光盘驱动电机、载料盘、载料盘支架、主动支架导轮、被动支架导轮、导轮驱动电机、直线导轨座、导轨驱动电机、偏心拨杆和修整环，其特征在于，其中载料盘(5)放置在研磨抛光盘(3)的盘面上，研磨抛光盘(3)与研磨抛光盘驱动电机(1)相连接，回转体(2)与研磨抛光盘(3)相连接，载料盘(5)外径套有修整环(4)，修整环(4)置于主动支架导轮(8)和被动支架导轮(9)之中，并由载料盘支架(7)上的导轮驱动电机(6)驱动主动支架导轮(8)，载料盘支架(7)与直线导轨座(10)平行连接，直线导轨座(10)通过驱动电机主轴上的圆盘偏心拨杆(12)与导轨驱动电机(11)相连接。
2.如权利要求1所述的往复直线加旋转运动研磨抛光装置，其特征在于，载料盘支架(7)与直线导轨座(10)之间安装有翻板(13)，载料盘支架(7)可在直线导轨座(10)上做90度翻转。
3.如权利要求1所述的往复直线加旋转运动研磨抛光装置，其特征在于，表面粘有被磨抛材料的载料盘(5)与研磨抛光盘(3)相对放置在研磨抛光盘面上，修整环外径与载料盘支架(7)上的两支架导轮相接触，并由支架上的导轮驱动电机(6)驱动主动支架导轮(8)，可使修整环主动旋转，修整环内置的载料盘便与其一同旋转；直线导轨座(10)由其驱动电机(11)主轴上的圆盘偏心拨杆(12)拉动做往复直线运动，使被磨抛材料在研磨抛光盘的盘面上做直线加旋转运动并对其进行研磨抛光。
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