[发明专利]平表面的空气支承组件无效
| 申请号： | 200780042666.1 | 申请日： | 2007-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101541653A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | D·E·布拉克利;D·L·德鲁门;P·J·姆卡蒂 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种空气支承组件包括：具有多个穿过其的空气供给和真空孔的上部；下部；以及多个间隔件，这些间隔件位于上部和下部之间，使上部和下部保持间隔开的关系，其中，空气供给和真空孔的密度足够高以提供对基底的空气支承，但密度足够低以达到以下两种情况中的至少一种：(i)可使用足够数量的间隔件，以及(ii)间隔件足够靠近地定位，以使上部相对于下部保持基本上均匀的平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 空气 支承 组件 | ||
【主权项】：
1.一种空气支承组件，包括：上部，所述上部具有多个穿过其的空气供给和真空孔；下部；以及多个间隔件，所述间隔件设置在所述上部和下部之间，并使所述上部和下部保持间隔开的关系，其中，所述空气供给和真空孔的密度足够高以提供对基底的空气支承，但所述密度还足够低以达到以下情况中的至少一种：(i)使用足够数量的所述间隔件，以及(ii)所述间隔件足够靠近地定位，以使所述上部相对于所述下部保持基本上均匀的平面度。
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