[发明专利]平表面的空气支承组件

说明书

技术领域

本发明涉及空气支承组件，具体来说，涉及用于平基底处理和测量的空气 支承组件。

背景技术

诸如玻璃基底那样的平基底可能在切割或任何其它处理之后被检查以发现 可能影响空气支承组件上基底质量的应力变形。空气支承组件通常是具有平的 上表面的单块花岗岩。该花岗岩通常很厚以确保获得实心、稳定和平坦的平台。 一般地，希望在基底和空气支承组件的上表面之间施加空气压力(或其它流体) 或形成真空压力。由遍布整个空气支承表面组件设置的空气孔和真空孔的组合 来输送真空压力和空气压力。真空压力和空气压力用来固定基底(例如，为试 验目的)或使基底在空气支承组件上方的规定飞起高度上悬浮，以便可进行操 作和检查。

空气压力和真空压力分别通过空气孔和真空孔施加到基底上。空气孔和真 空孔遍布整个空气支承组件地布置，以确保合适的飞行高度并保持基底的平面 度。没有真空孔的话，空气压力会更加可能形成在基底中心处，因为通过空气 孔提供的空气不容易从基底和空气支承组件之间逃逸。相比之下，空气更容易 越过基底边缘来逃逸。在基底中心形成的空气压力致使基底弯曲和变形。通过 真空孔提供的真空压力有助于防止过度空气压力形成在基底中心。因此，通过 空气孔和真空孔在基底的整个表面上保持均匀的压力，可控制基底的平面度。

一般地，空气孔和真空孔延伸通过也很厚的空气支承组件的全部厚度。遗 憾的是，钻透整个组件的空气孔和真空孔减弱了空气支承组件的整体结构完整 性。此外，穿过诸如花岗岩那样坚硬物质钻出小直径的孔极其困难。在钻这样 的孔所遇到的诸多问题中，特别是有可能孔不是沿合适的轴向方向延伸(诸如 垂直于花岗岩的平的上表面)，孔的横截面形状不合适(例如，不是圆形而呈 椭圆形)，或用来钻孔的钻头损坏。由于空气支承组件的整体结构完整性对于 维持组件稳定、平的上表面很重要(例如，操作和处理基底)，所以传统的表 面组件不能达到完全的满意。

因此，本技术领域内需要一种空气支承组件，其允许单独的空气管线和真 空管线安装在组件内，而不必钻透组件的整个厚度。

发明内容

本文描述一种平表面的空气支承组件以及组装该空气支承组件的方法。该 空气支承组件包括上部、下部和多个间隔件，上部具有支承基底的基本上平的 顶表面，下部用来提供刚度和对上部的支承，间隔件位于上部和下部之间，使 上部和下部保持间隔开的关系。间隔件允许单独的空气管线和真空管线放置在 上部和下部之间。这些空气和真空管线用来控制空气支承组件上部的顶表面上 的空气床。

该方法描述了如何组装空气床组件。一旦组装之后，整个空气支承组件提 供与单块式空气支承组件相同的刚度，同时允许空气供应达到上部的上表面。 多块式基部组件允许在花岗岩或类似材料的较薄的上部内有多个小直径孔，并 提供合适的刚度来达到基部组件上表面上的低允差的平面度。

从以下结合附图的描述中，本技术领域内的技术人员将会明白本发明其它 方面、特征和优点。

附图说明

为了说明的目的，图中示出了目前较佳的各种形式，然而，应该理解到， 本发明不局限于所示的具体结构和手段。

图1是根据本发明一个或多个实施例的具有多个穿过空气支承组件上部的 孔的空气支承组件分解的立体图；

图2是图1空气支承组件的组装图；

图3是图1空气支承组件的上部的底表面的平面图；

图4是图1所示空气支承组件的上部的顶表面的平面图；

图5是图1所示空气支承组件的剖视图；以及

图6是组装图1所示空气支承组件的方法的流程图。在该流程图中，附图 标记具有如下含义：601：开始；600：提供空气支承组件的下部和上部；602： 穿过上部钻孔，其密度足够高以实现空气支承功能，但密度也足够低以允许无 干扰地布置间隔件；604：将间隔件附连到上部而不与孔干扰并确保间隔件的 布置仍能保持上部的平面度；606：将空气供给导管和真空导管布线成从上部 周缘越过间隔件到达孔；608：倒置上部并将其安置在下部上；610：结束。

具体实施方式

参照附图，其中，相同的附图标记表示相同的元件，图1-5从不同视点示 出空气支承组件100。