[发明专利]使用具有永磁体的磁透镜层的电子柱有效
申请号: | 200780033271.5 | 申请日: | 2007-10-09 |
公开(公告)号: | CN101512717A | 公开(公告)日: | 2009-08-19 |
发明(设计)人: | 金浩燮 | 申请(专利权)人: | 电子线技术院株式会社 |
主分类号: | H01J37/14 | 分类号: | H01J37/14 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。 | ||
搜索关键词: | 使用 具有 永磁体 透镜 电子 | ||
【主权项】:
1、一种电子柱,该电子柱包括:用于聚集电子束的具有永磁体的磁透镜层。
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