[发明专利]透明多层膜及其制造方法以及液体透镜无效
| 申请号： | 200780027930.4 | 申请日： | 2007-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101495303A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 桐田科;河嶋利孝 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B32B7/02 | 分类号： | B32B7/02;G02B3/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开了一种制造透明多层膜的方法，该方法使得能够容易地形成透明多层膜而不改变靶材。还公开了一种通过此种方法形成的透明多层膜，以及使用此种透明多层膜的液体透镜。具体地，通过在不存在反应气体或存在反应气体的情形下使用溅射气体溅射由包含Al2O3、Ga2O3和SiO2之一的ZnO制成的靶(3)而在基底上形成透明导电膜，随后通过在存在反应气体的情形下使用溅射气体溅射靶而在透明导电膜上形成透明绝缘膜，从而形成透明多层膜。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 多层 及其 制造 方法 以及 液体 透镜 | ||
【主权项】：
1.一种制造透明多层膜的方法，特征在于，通过在不存在反应气体或存在反应气体的情形下使用溅射气体溅射由包含Al2O3、Ga2O3和SiO2中任一种的ZnO制成的靶而在基底上沉积透明导电膜，随后通过在存在反应气体的情形下使用溅射气体溅射所述靶而在所述透明导电膜上沉积透明绝缘膜，从而形成透明多层膜。
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