[发明专利]浸没式光刻用抗蚀剂保护膜材料无效
| 申请号： | 200780013266.8 | 申请日： | 2007-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101421673A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 武部洋子;王舒钟;横小路修;代田直子;松川泰久;白川大祐 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08F20/24;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 刘多益 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供浸没式光刻用抗蚀剂保护膜材料。包含聚合物(F)的碱溶性的浸没式光刻用抗蚀剂保护膜材料，所述聚合物(F)包含通过具有含氟桥环结构的聚合性化合物(fm)的聚合而形成的重复单元(FU)。例如，重复单元(FU)为通过选自下述化合物(f1)～(f4)的化合物(f)的聚合而形成的重复单元；RF表示H、F、碳数1～3的烷基或碳数1～3的氟代烷基，XF表示F、OH或CH2OH。 | ||
| 搜索关键词： | 浸没 光刻 用抗蚀剂 保护膜 材料 | ||
【主权项】：
1. 碱溶性的浸没式光刻用抗蚀剂保护膜材料，其特征在于，包含聚合物(F)，所述聚合物(F)包含通过具有含氟桥环结构的聚合性化合物(fm)的聚合而形成的重复单元(FU)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭硝子株式会社，未经旭硝子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780013266.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种全自动肉泥加工机的动力传导装置
- 下一篇：鱼缸自动换水系统
