[发明专利]固定工件的托板及具备该托板的液体涂布装置有效

专利信息
申请号: 200780003914.1 申请日: 2007-02-01
公开(公告)号: CN101374606A 公开(公告)日: 2009-02-25
发明(设计)人: 生岛和正 申请(专利权)人: 武藏工业株式会社
主分类号: B05C13/02 分类号: B05C13/02;B05C5/00;H01L21/673
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 代理人: 程伟;王锦阳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及固定工件的托板及具备该托板的液体涂布装置,具体地说,本发明提供确实地将板状工件保持于机台上,可对工件上面所需位置处施行液体涂布的托板、及具备该托板的涂布装置。本发明的托板配置于使喷出液体的喷嘴与机台相对性移动而涂布液体的液体涂布装置的机台上,是用于固定板状工件的托板;其中,上述托板由基座与按押板构成,该基座具有将多个工件朝行方向及/或列方向并排配置的工件区域;该按押板具有将在工件区域中所配置的工件中央处开放的窗(69),而夹持该工件的二端部。
搜索关键词: 固定 工件 具备 液体 装置
【主权项】:
1.一种托板,配置于使喷出液体的喷嘴与机台相对性移动,而涂布液体的液体涂布装置的机台上,是固定板状工件用的托板;其特征为,上述托板具备有:基座,其具有将多个工件朝行方向及/或列方向并排配置的工件区域;以及按押板,其具有将在工件区域中所配置的工件中央处开放的窗(69),并夹持该工件的二端部。
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