[发明专利]二维离子束角度测量的方法及其装置有效
| 申请号： | 200780002667.3 | 申请日： | 2007-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN101371328A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·J·康米斯;约瑟·欧尔森;亚瑟·H·克雷福;艾立克·赫尔曼森;罗扎里欧·马雷卡;保罗·J·墨菲;马克·多拿赫 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于离子束的角度测量系统，此角度测量系统包括：界定第一以及第二特征的旗标，其中第二特征具有自第一特征的可变间距；用以沿着平移路径而平移旗标以使得旗标截取离子束的至少一部分的机构；以及用以沿着平移路径而侦测不同旗标位置的离子束且回应于经侦测的离子束而产生感应器信号的感应装置。感应器信号以及旗标的对应位置表示垂直平面中离子束的垂直离子束角度。感应装置可包括一屏蔽以及一用以平移屏蔽以便界定相关联的法拉第感应器的一部分上的离子束电流感应器的机构。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 离子束 角度 测量 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种角度测量系统，包括：界定第一特征以及第二特征的旗标，其中所述第二特征具有自所述第一特征的可变间距，其作为所述第二特征上的位置的函数；用以沿着平移路径而平移所述旗标以使得所述旗标截取离子束的至少一部分的机构；以及用以沿着所述平移路径而侦测不同旗标位置的所述离子束且回应于所述经侦测的离子束而产生感应器信号的感应装置，其中所述感应器信号以及所述旗标的对应位置表示垂直平面中所述离子束的垂直离子束角度。
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