[实用新型]晶圆针测机的转换接口装置有效
| 申请号： | 200720306980.3 | 申请日： | 2007-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN201141871Y | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 倪建青 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆针测机的转换接口装置，其包含一测试头、一针测卡以及至少一软质排线。本实用新型利用上述软质排线直接电性连接测试头的功能板以及针测卡，如此不仅组装容易并可有效节省成本，更可有效降低晶粒测试时的动态阻抗和杂散电容，以提高晶粒电性测试可靠度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆针测机 转换 接口 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，包含：一测试头，其包含至少一具有测试电路的功能板，而上述每一功能板具有一第一接合装置；一针测卡，具有多个探针用于接触一待测元件以进行电性测试，该针测卡具有至少一第二接合装置；以及至少一软质排线，上述每一软质排线具有一第一连接端与一第二连接端，其中该第一连接端与该第一接合装置连接，而该第二连接端与该第二接合装置连接。
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