[实用新型]晶圆针测机的转换接口装置有效
| 申请号： | 200720306980.3 | 申请日： | 2007-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN201141871Y | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 倪建青 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆针测机 转换 接口 装置 | ||
1.一种晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，包含：
一测试头，其包含至少一具有测试电路的功能板，而上述每一功能板具有一第一接合装置；
一针测卡，具有多个探针用于接触一待测元件以进行电性测试，该针测卡具有至少一第二接合装置；以及
至少一软质排线，上述每一软质排线具有一第一连接端与一第二连接端，其中该第一连接端与该第一接合装置连接，而该第二连接端与该第二接合装置连接。
2.如权利要求1所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，上述软质排线内具有多条导线彼此电性隔离。
3.如权利要求2所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，上述软质排线外具有一绝缘膜用以包覆并且固定该些导线。
4.如权利要求3所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，上述软质排线的该绝缘膜内侧包含一金属层。
5.如权利要求4所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，该金属层包含铜箔。
6.如权利要求4所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，上述软质排线的该绝缘膜内包含一介电物质用以隔绝该些导线与该金属层。
7.如权利要求2所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，上述软质排线内的该些导线经由该第一连接端与该第一接合装置连接，并经由该第二连接端与该第二接合装置连接。
8.如权利要求1所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，上述软质排线的该第一连接端具有一第一连接器与该第一接合装置进行接合以及该第二连接端与该第二接合装置进行接合。
9.如权利要求1所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，该第一接合装置及该第二接合装置包含插槽。
10.如权利要求1所述的晶圆针测机的转换接口装置，其特征在于，更包含一锁扣装置用以辅助该第一连接端与该第一接合装置连接或该第二连接端与该第二接合装置连接。
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