[实用新型]采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉无效
| 申请号: | 200720198654.5 | 申请日: | 2007-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN201133766Y | 公开(公告)日: | 2008-10-15 |
| 发明(设计)人: | 史珺;蒋君祥;水川;佟晨 | 申请(专利权)人: | 上海普罗新能源有限公司 |
| 主分类号: | F27B14/04 | 分类号: | F27B14/04;F27B14/08;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京必浩得专利代理事务所 | 代理人: | 李梦福 |
| 地址: | 200083上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型提供的一种采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉,包含炉底自动进料机构,炉体加热机构,以及炉顶机构;炉底自动进料机构包含炉底、坩埚、连接炉底的升降机构、连接升降机构的水平移动机构;炉体加热机构包含炉身、可移动加热元件、保温层;炉顶机构包含炉盖、设置在炉盖上的在线加料装置、抽真空装置、气体导入装置、观察窗和热电偶测温装置;本实用新型能够将固体硅料加热熔融之后在能够以连续梯度自下而上地进行降温、从而能够达到通过自动结晶对坩埚内的硅料同时进行提纯和精铸锭。 | ||
| 搜索关键词: | 采用 梯度 降温 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
1.一种采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉,其特征在于,包含炉底自动进料机构,炉体加热机构,以及炉顶机构;所述的炉底自动进料机构包含炉底(3)、坩埚(8)、连接炉底的升降机构(5)、连接升降机构(5)的水平移动机构(4);所述的炉体加热机构包含炉身(2)、可移动加热元件(7)、保温层(6);所述的炉顶机构包含炉盖(1)、设置在炉盖(1)上的在线加料装置(17)、抽真空装置(14)、气体导入装置、观察窗和热电偶测温装置;
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海普罗新能源有限公司,未经上海普罗新能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200720198654.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。





