[实用新型]采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉

权利要求书

1.一种采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，包含炉底自动进料机构，炉体加热机构，以及炉顶机构；

所述的炉底自动进料机构包含炉底(3)、坩埚(8)、连接炉底的升降机构(5)、连接升降机构(5)的水平移动机构(4)；

所述的炉体加热机构包含炉身(2)、可移动加热元件(7)、保温层(6)；

所述的炉顶机构包含炉盖(1)、设置在炉盖(1)上的在线加料装置(17)、抽真空装置(14)、气体导入装置、观察窗和热电偶测温装置；

2.如权利要求1所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，所述的坩埚(8)底部放置在具有一定厚度的均热层(10)上，均热层(10)底部设置有底部加热元件(11)，底部加热元件(11)的下部设置炉底保温层(12)，再下面通过一炉底支架(16)与炉底(3)相连。

3.如权利要求1所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉还包含一控制装置，对炉内温度和加热元件(7)的运动进行控制。

4.如权利要求1所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，所述的炉底(3)内侧设有支承坩埚的水冷层(18)，水冷层(18)上有石墨温度缓冲层和绝热层。

5.如权利要求1所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，所述的升降机构(5)设有导向装置；所述的炉体内部带有测温装置。

6.如权利要求1所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，所述的可移动加热元件(7)设置若干组，保温层(6)由炉盖(1)上的支架固定，在炉内安装在滑动导轨上，保温层(6)升降时与加热元件7)同步升降。

7.如权利要求6所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，所述的可移动加热元件(7)采用高密度多组石墨棒，数量由12根到36根。

8.如权利要求6所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，保温层(6)采用低污染或无挥发的耐热材料。

9.如权利要求1所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，所述的气体导入装置包含保护气体导入装置(13)和反应气体导入装置(15)，抽真空装置(14)和保护气体导入装置(13)的气体流量均可以控制。

10.如权利要求1所述的采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，其特征在于，所述的炉盖(1)、炉身(2)、炉底(3)均为双层水冷双层结构，内表面作洁净防尘处理，炉壳内带炉衬。