[实用新型]一种可重复使用的原子氧探头及探测系统

摘要

本实用新型公开了一种可重复使用的原子氧探头及探测系统，属于气体探测领域。本实用新型采用制备于蓝宝石基底上的氧化锌半导体薄膜作为探头，其上镀制有金属电极，通过导线与直流电源和电流表相连接；探头安装于半导体加热器上，侧面装有热电偶，用来测量和控制探头温度。原子氧作用于探头后，通过测量氧化锌薄膜电阻变化可以得出原子氧束流通量变化，从而达到探测的目的。通过加热器加热，可以使半导体薄膜表面吸附的原子氧脱附，使其电阻值恢复到初始值，从而达到重复使用的目的。本实用新型对原子氧具有良好的响应特性，通过加热，探头具有稳定的重复使用特性，可用于地面原子氧探测和低地球卫星轨道环境中的原子氧探测。

主权项

1.一种可重复使用的原子氧探头及探测系统，由半导体加热及温控单元、探头和电信号获取单元三部分组成；半导体加热及温控单元由半导体加热器(4)、热偶、温度显示单元和可调节直流电压源组成；探头由镀制于蓝宝石基底上的氧化锌半导体薄膜、金属电极组成；电信号获取单元由直流稳压电源、电流表和电阻组成，其特征在于：由氧化锌薄膜(2)和加热器(4)构成的探头放置于原子氧模拟实验装置真空室(9)中；探头薄膜(2)上镀制金属电极(1)，通过导线(10)与直流稳压电源(6)和电流表(7)连接；采用热电偶(3)对探头温度进行测量，加热器(4)通过调节与其连接的直流电源(8)的电压控制加热温度；在工作温度下，通过测量薄膜电流变化信号得出薄膜的电阻率变化，计算出作用在薄膜表面的原子氧束流强度和通量。