[实用新型]发光二极管金属电极的制造装置无效
| 申请号： | 200720142918.5 | 申请日： | 2007-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN201060877Y | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 江守权;余佳骏;李欣仪;盛约瑟;曾淑靖 | 申请（专利权）人： | 曜富科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/285;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 中国台湾苗*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种发光二极管金属电极的制造装置，是装设在一反应室中的蒸镀盘上，包括一载具可承载芯片，并在载具底部设置一磁性组件；在芯片上方设置一磁性光罩，使磁性组件吸附磁性光罩，并同时将芯片固定在载具上，以进行金属蒸镀，进而在芯片完成金属电极的制作。本实用新型无须使用现有微影蚀刻或光阻浮离微影制程，即可制作出发光二极管的金属电极，因此具有制程简单、快速及制造成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 金属电极 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种发光二极管金属电极的制造装置，其特征在于，装设在一反应室中的蒸镀盘上，所述制造装置包括：一载具，上方可供承载一芯片；一磁性组件，位于所述载具底部；以及一磁性光罩，设置在所述芯片上，以利用所述载具底部的磁性组件吸附所述磁性光罩，并同时将所述芯片固定在载具上。
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