[实用新型]一种比较片机构无效
| 申请号： | 200720103859.0 | 申请日： | 2007-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201051155Y | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 刘洁雅 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 102600北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于一种光学镀膜设备领域。现有技术采用多个独立的比较片技术方案，因此监测结果误差大、导致光学镀膜设备用于装载被镀基片的有效空间少以及晶体探头和比较片监测结果相差过大。本实用新型提供了一种新型的比较片机构，包括定位法兰盘和位于定位法兰盘上部的一个比较片，在比较片和定位法兰盘之间还设置有对比较片分区的分区结构，所述分区结构包括若干通透区，所述比较片工作面侧朝向分区结构设置，并且比较片工作面朝向真空室设置；所述定位法兰盘上设置有定位法兰盘通孔，所述定位法兰盘通孔与所述分区之一重叠设置。采用本实用新型的技术方案可以得到更精确的监测结果，提高光学镀膜设备用于装载被镀基片的有效空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 比较 机构 | ||
【主权项】：
1.一种比较片机构，包括定位法兰盘和位于定位法兰盘上部的一个比较片，其特征在于在比较片和定位法兰盘之间还设置有对比较片分区的分区结构，所述分区结构包括若干通透区，所述比较片工作面侧朝向分区结构设置，并且比较片工作面朝向真空室设置；所述定位法兰盘上设置有定位法兰盘通孔，所述定位法兰盘通孔与所述分区之一重叠设置。
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