[实用新型]一种比较片机构

权利要求书

1.一种比较片机构，包括定位法兰盘和位于定位法兰盘上部的一个比较片，其特征在于在比较片和定位法兰盘之间还设置有对比较片分区的分区结构，所述分区结构包括若干通透区，所述比较片工作面侧朝向分区结构设置，并且比较片工作面朝向真空室设置；所述定位法兰盘上设置有定位法兰盘通孔，所述定位法兰盘通孔与所述分区之一重叠设置。

2.根据权利要求1所述的一种比较片机构，其特征在于所述分区结构包括一盘状体及该盘状体底部设置的有若干个起分区作用的互不连通的通孔。

3.根据权利要求2所述的一种比较片机构，其特征在于所述盘状体为圆盘状，其外圆周设置有齿轮结构。

4.根据权利要求3所述的一种比较片机构，其特征在于所述若干个互不连通的通孔为圆孔，且所述圆孔的圆心均在盘状体底部一个同心圆的圆周上。

5.根据权利要求2至4之一所述的一种比较片机构，其特征在于盘状体朝向真空室一侧的底部圆心设置有定位轴，所述定位轴设置于定位法兰盘上。

6.根据权利要求5所述的一种比较片机构，其特征在于所述互不连通的通孔的数量是9。

7.根据权利要求3或4所述的一种比较片机构，其特征在于包括一传动齿轮，所述传动齿轮与盘状体外圆周的齿轮啮合，传动齿轮设置于传动轴上。

8.根据权利要求5所述的一种比较片机构，其特征在于包括一传动齿轮，所述传动齿轮与盘状体外圆周的齿轮啮合，传动齿轮设置于传动轴上。

9.根据权利要求7所述的一种比较片机构，其特征在于所述传动轴一端连接于动力源，另一端连接于定位法兰盘上。

10.根据权利要求8所述的一种比较片机构，其特征在于所述传动轴一端连接于动力源，另一端连接于定位法兰盘上。

11.根据权利要求1所述的一种比较片机构，其特征在于还包括晶体探头，所述晶体探头设置于定位法兰盘上。

12.根据权利要求5所述的一种比较片机构，其特征在于还包括晶体探头，所述晶体探头设置于定位法兰盘上。