[实用新型]可倒式补偿挡板机构无效
| 申请号： | 200720103803.5 | 申请日： | 2007-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201010689Y | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 刘洁雅 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;G02B1/10 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 102600北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 现有真空镀膜设备中的补偿挡板机构存在补偿挡板位置固定，进而导致了薄膜均匀性降低，本实用新型提供了一种易于调节补偿挡板位置的可倒式补偿挡板机构。本实用新型包括设置于真空室内的补偿挡板、定位体，补偿挡板直接或间接连接于定位体的一端，所述定位体的另一端直接或间接活动连接于真空室壁。采用本实用新型，可以使补偿挡板能够有很大的活动范围，并可以根据镀膜工艺的需要在真空室外调整定位体的位置，提高了补偿效果和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 可倒式 补偿 挡板 机构 | ||
【主权项】：
1.可倒式补偿挡板机构，包括设置于真空室内的补偿挡板、定位体，补偿挡板直接或间接连接于定位体的一端，其特征在于所述定位体的另一端为活动连接端，所述活动连接端直接或间接活动连接于真空室壁上。
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