[实用新型]一种可控垂直浸渍液相外延膜生长装置

摘要

一种可控垂直浸渍液相外延膜生长装置，包括，炉体，其具有一个一端开口的腔体结构，其开口处设炉盖，炉盖上开有通孔；第一发热体，设置于炉体腔体结构内侧；炉管，设于炉体腔体结构内，其底部放置耐火砖；坩埚，设于耐火砖上；籽晶杆，通过炉体炉盖伸入炉体腔体内的炉管腔内，对应于坩埚；炉体内壁开有凹槽；第二发热体，环设于炉体内壁凹槽内；第一、第二发热体均具有各自独立的温度控制系统；本实用新型通过设置第二发热体，通过控制坩埚上方的空气温度，以调节被衬底吸附的熔体的粘度，影响熔体在籽晶杆旋转主用下被甩熔体的量，使衬底底部吸附的熔体表面平整，并达到影响膜厚度的效果，保证垂直浸渍液相外延膜生长方法能够生长所需要的膜。

主权项

1.一种可控垂直浸渍液相外延膜生长装置，包括，炉体，其具有一个一端开口的腔体结构，其开口处设炉盖，炉盖上开有通孔；第一发热体，设置于炉体腔体结构内侧，与一温度控制系统相电连接；炉管，设置于炉体腔体结构内，其底部放置耐火砖；坩埚，设置于炉管内的耐火砖上；籽晶杆，通过炉体炉盖上通孔伸入炉体腔体结构内的炉管腔内，对应于坩埚；其特征是，还包括，所述的炉体腔体结构内壁沿圆周方向还开有凹槽；第二发热体，环设于炉体内壁凹槽内，并与另一温度控制系统相电连接。