[实用新型]一种可控垂直浸渍液相外延膜生长装置无效
| 申请号： | 200720072276.6 | 申请日： | 2007-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN201080508Y | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 万尤宝;张建新 | 申请（专利权）人： | 嘉兴学院 |
| 主分类号： | C30B19/00 | 分类号： | C30B19/00 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 季良赳;杨润周 |
| 地址： | 314001*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可控 垂直 浸渍 外延 生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种可控垂直浸渍液相外延膜生长装置，包括，
炉体，其具有一个一端开口的腔体结构，其开口处设炉盖，炉盖上开有通孔；
第一发热体，设置于炉体腔体结构内侧，与一温度控制系统相电连接；
炉管，设置于炉体腔体结构内，其底部放置耐火砖；
坩埚，设置于炉管内的耐火砖上；
籽晶杆，通过炉体炉盖上通孔伸入炉体腔体结构内的炉管腔内，对应于坩埚；其特征是，还包括，
所述的炉体腔体结构内壁沿圆周方向还开有凹槽；
第二发热体，环设于炉体内壁凹槽内，并与另一温度控制系统相电连接。
2.如权利要求1所述的可控垂直浸渍液相外延膜生长装置，其特征是，
所述的炉体包括炉壳、保温砖。
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